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1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
簡要描述:

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃PECVD等離子體增強氣相沉積由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機復(fù)合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中(如:粉體摻雜(空穴、間隙原子)、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-03-13
  • 訪  問  量:5263

詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子/電池輸入電壓AC208-220V, 50/60Hz
    1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

    1、射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

    2、齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

    3、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控;

    4、爐體開啟式設(shè)計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

    1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)參數(shù):

    工作電源:

    •輸入電壓:AC208-220V,50/60Hz

    •總功率:<4KW

    加熱爐參數(shù):

    •最高溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

    •兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

    •工作電壓:110V;

    •額定功率:1.5KW;

    •回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:0-5rpm。

    射頻電源:
 
image.png

    真空系統(tǒng):

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    •真空度可達10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選):

    •客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

    •流量范圍:

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    •電壓:208-240V,AC,50/60Hz;

    •氣體進出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出

    •PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置

    循環(huán)水冷機:

    標配KJ-5000循環(huán)水冷機,水流速率:16L/min

    產(chǎn)品尺寸和重量:

    尺寸:1400mmL-600mmW-1240mmH

    凈重:90Kg

    承諾:

    一年保質(zhì)期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
 

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