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小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)
簡(jiǎn)要描述:

OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開(kāi)啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開(kāi)啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng),且設(shè)備性價(jià)比較為理想

  • 產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-50S-PE-SL
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-03-13
  • 訪  問(wèn)  量:2290

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子/電池

產(chǎn)品特點(diǎn):

一射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫;

可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力;

可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量;

可沉積各種材料,如SiOx,SiNx,SiOxNy(a-Si:H)等。

加熱爐參數(shù):

最高溫度:1100℃<30min):連續(xù)工作溫度:1000℃

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控瀝精度:±1℃

輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命

射頻電源:

 

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240VAC, 50/60Hz

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量:

尺寸:1500mm L'600mm W^1200mm H

•·凈重:160 kg

運(yùn)輸重量:220 kg

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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