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全自動(dòng)/軌道式去膠剝離機(jī)
簡(jiǎn)要描述：

全自動(dòng)/軌道式去膠剝離機(jī)
適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝（Liftoff工藝）
不銹鋼柜體,觸摸式人機(jī)交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
8寸以下化合物（鉭酸鋰等）全自動(dòng)去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器（SAW）行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2025-03-13
  • 訪  問(wèn)  量：2976

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池
設(shè)備配置1套浸泡單元、1套剝離單元浸泡模塊處理晶圓數(shù)量25片
剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍20-3000rpm加速度范圍20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型高壓或扇形噴嘴設(shè)備尺寸1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)

全自動(dòng)/軌道式去膠剝離機(jī)

產(chǎn)品介紹


適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝(Liftoff工藝)
不銹鋼柜體,觸摸式人機(jī)交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
8寸以下化合物(鉭酸鋰等)全自動(dòng)去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器(SAW)行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

 

產(chǎn)品參數(shù)

 

white:
設(shè)備配置:1套浸泡單元、1套剝離單元
浸泡模塊處理晶圓數(shù)量:25片
剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-3000rpm
加速度范圍：20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型:高壓或扇形噴嘴
設(shè)備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)

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