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產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-03-13訪 問 量：6867產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 20-5000rpm | 加速度范圍 | 20-20000rpm/s |
| 轉(zhuǎn)速精度 | ±1rpm | 熱盤溫度范圍 | 50℃-200℃ |
| 熱盤溫度均勻性 | ±1% | 冷盤溫度范圍 | 20°℃-25°℃ |
| 冷盤溫度均勻性 | ±0.2℃ | 光刻膠粘度 | 0-1000Cp(可選高粘度光膠機(jī)臺(tái)) |
| 膠泵類型 | 氣動(dòng)或電動(dòng)膠泵 | 光刻膠或顯影液管路 | ≤3路 |
| 設(shè)備尺寸 | 2140mm(W)x1780mm(D)x2200mm(H) | 流量監(jiān)控 | 超聲式流量計(jì) |
| 高精度熱盤溫度均勻性 | 50℃-120℃±0.4℃ 120℃-200℃±1.2℃ |
勻膠顯影機(jī)
顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時(shí)，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機(jī)是將曬制好的印版通過半自動(dòng)和全自動(dòng)的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。
產(chǎn)品介紹
適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
最大設(shè)備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
6寸以下wafer全自動(dòng)勻膠/顯影,烘烤全自動(dòng)工藝處理
整機(jī)適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風(fēng)棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊
產(chǎn)品參數(shù)
旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
冷盤溫度范圍:20°℃-25°℃
冷盤溫度均勻性:±0.2℃
光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機(jī)臺(tái))
膠泵類型:氣動(dòng)或電動(dòng)膠泵
光刻膠或顯影液管路:≤3路
流量監(jiān)控:超聲流量計(jì)
設(shè)備尺寸:2140mm(W)x1780mm(D)x2200mm(H)
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