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當前位置：首頁 > 產品中心 > 雷博科學儀器 > 工業(yè)半導體設備 > SH200-AT軌道式勻膠顯影機
產品型號：SH200-AT廠商性質：代理商更新時間：2025-03-13訪 問 量：2747詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 旋轉速度范圍 | 20-5000rpm | 加速度范圍 | 20-20000rpm/s |
| 轉速精度 | ±1rpm | 適用光刻膠粘度 | 0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺) |
| 光刻膠或顯影液管路 | ≤3路 | 設備尺寸 | 1500mm(W)*1200mm(D)*1800mm(H) |
顯影機
顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序將顯影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設備。
產品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝
最大設備配置:2套勻膠(顯影)單元、4套熱(冷)板單元
可選8寸以下多種wafer尺寸全自動勻膠/顯影,烘烤工藝處理
整機性價比高,適合產能要求適中的批量產線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝等離子風棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉換模塊
產品參數(shù)
主軸旋轉速度范圍:20-5000rpm
主軸加速度范圍:20-20000rpm/s
主軸轉速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
適用光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺)
光刻膠或顯影液管路:≤3路
設備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)
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